| 1 | Электронный микроскоп с приставкой фокусированного ионного пучка
|
2
| Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер
|
| 3 | Оптический криостат замкнутого цикла с образцом в вакууме
|
| 4 | Электронный микроскоп с системой электронной литографии
|
| 5 | Установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510M40
|
| 6 | Установка для измерения ЭДС Холла ECOPIA HMS-3000/1T
|
| 7 | Установка очистки воды с накопителем и системой оборотной рециркуляции УВО- 015
|
| 8 | Установка плазмохимического осаждения POLYSI VISION 310PECVD
|
| 9 | Установка плазмохимического осаждения в индуктивно связанной плазмеSTE ICPD
|
| 10 | Установка плазмохимического травления в индуктивно-связанной плазме STE ICP
|
| 11 | Установка плазмохимического травления в кислородной плазме YES-CV200RFS
|
| 12 | Установка совмещения и экспонирования MJB4
|
| 13 | Установка термического отжига STE THA 49 LC
|
| 14 | Стилусный профилометр Alpha-step D-100 (производство фирмы KLA-Tencor,США,страна происхождения США)
|
| 15 | Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями
|
| 16 | Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами
|
| 17 | Комплекс фотолюминесцентной спектроскопии
|
| 18 | Система 3D обработки поверхности UV-MICRO MOJI-NANO
|
| 19 | Азотная станция ABC-80A
|
20
| Установка магнетронного напыления ACADEMVAC Tabletop-Metal
|
| 21 | Центрифуга для нанесения резистов WS-400E-NPP
|
22
| Центрифуга для сушки образцов WS-400E-6NPP
|
23
| Пресс для изготовления печатных плат
|
24
| Универсальная вакуумная печь
|
25
| Настольная конвекционно-инфракрасная печь
|
26
| Универсальная установка монтажа кристаллов
|
