1

Электронный
микроскоп с приставкой
фокусированного
ионного пучка

Melytec DB-50

ZHEJIANG NADE SCIENTIFIC INSTRUMENT
СО LTD.

Китай

2025

150000000

2

Сканирующий
зондовый
микроскоп-нанотвердомер

Наноскан-3D

ООО "Научспецприбор"

Россия

2025

11917000

3

Оптический криостат
замкнутого цикла
с образцом в вакууме

CFHT- 111- LV-Micro

ООО "Криогенные приборы"

Россия

2025

18083000

4

Электронный микроскоп
с системой
электронной литографии

Nova Nanolab

FEI Company

Нидерланды

2007

84021935

5

Установка
бесконтактного измерения
удельного сопротивления
LEI 1510M40

LEI

"Lehighton Electronics, Inc."

США

2010

2824710

6

Установка
для измерения ЭДС
Холла ECOPIA HMS-3000/1T

ECOPIA

ECOPIA

Южная Корея

2010

743840

7

Установка очистки воды
с накопителем
и системой оборотной рециркуляции
УВО- 015

2010

1200000

8

Установка плазмохимического осаждения
POLYSI VISION 310PECVD

Oxford Instruments

Oxford Instruments plc

Великобритания

2010

14643580

9

Установка плазмохимического осаждения
в индуктивно связанной плазме
STE ICPD

SemiTeq

ЗАО "НТО"

Россия

2010

10859700

10

Установка плазмохимического травления
в индуктивно-связанной плазме
STE ICP

SemiTeq

ЗАО "НТО"

Россия

2010

10175000

11

Установка плазмохимического травления
в кислородной плазме
YES-CV200RFS

YES

Yield Engineering System, Inc

США

2010

5649200

12

Установка совмещения и экспонирования
MJB4

SUSS

SUSS MicroTec

Швейцария

2010

7149520

13

Установка термического отжига
STE THA 49 LC

SemiTeq

ЗАО "НТО"

Россия

2010

2190000

14

Стилусный профилометр
Alpha-step D-100

KLA-Tencor

KLA-Tencor

США

2016

4385300

15

Нанотехнологический комплекс
с расширенными
аналитическими возможностями

Нанофаб

ЗАО "НТО"

Россия

2007

187838447,5

16

Комплект оборудования
для медико-биологических
исследований
зондовыми методами

NT-MDT

ООО "НТ-МДТ"

Россия

2007

25462990

17

Комплекс
фотолюминесцентной
спектроскопии

SOL Instruments

ООО "СОЛ инструментс"

Белоруссия

2024

21649973,55

18

Система
3D обработки поверхности
UV-MICRO MOJI-NANO

MOJI-NANO

MOJI-NANO Tech Co

Китай

2024

22400000

19

Азотная станция ABC-80A

АГС

ООО "АГС"

Россия

2024

13690000

20

Установка
магнетронного напыления ACADEMVAC Tabletop-Metal

ACADEMVAK

ООО "АкадемВак"

Россия

2024

20505000

21

Центрифуга
для нанесения резистов
WS-400E-NPP

SAWATEC

Sawatec

Швейцария

2010

402850

22

Центрифуга
для сушки образцов
WS-400E-6NPP

SAWATEC

Sawatec

Швейцария

2010

497350

23

Пресс
для изготовления
печатных плат

Mono Lamination Press

MLP 62M

43438650

24

Универсальная
вакуумная печь

Opto-Intel technologies

VSR-8

21166642

25

Настольная
конвекционно-инфракрасная
печь

1ClickSMT Т962С

Т962С

361538

26

Универсальная установка
монтажа кристаллов

Finetech FINEPLACER pico ma

FINEPLACER pico ma

17158650