| N | Методика |
| 1 | Исследование морфологии поверхности образцов методами сканирующей зондовой микроскопии. |
| 2 | Исследование морфологии поверхности образцов методом растровой электронной микроскопии. Получение изображений с высоким пространственным разрешением. |
| 3 | Получение изображений поверхности (микроскопия) с использованием ионного пучка. |
| 4 | Локальное ионно-лучевое травление структур. Изготовление микросрезов и микросечений. Травление образцов по заданной конфигурации. |
| 5 | Получение изображений с высоким разрешением (в режиме низких энергий). |
| 6 | Исследование образцов методами спектроскопии фотолюминесценции |
| 7 | Осаждение тонких пленок металлов методами физического осаждения из паровой фазы (PVD) |

