| N | Наименование оборудования | Раздел классификатора научного оборудования | Марка | Изготовитель | Страна | Год выпуска | Наличие сертификата и других признаков метрологического | Источник финансирования закупки |
1 | Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями | Микроскопы атомно-силовые атомарного разрешения | НАНОФАБ НТК-9 | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2008 | + | средства госконтракта по мероприятиям ФЦП Развитие инфраструктуры наноиндустрии РФ |
2 | Сканирующий тунельный микроскоп | Специальные технологические установки | Solver P47Pro | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2003 | + | национальный проект "Образование" |
3 | Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами | Микроскопы туннельные сканирующие зондовые | Ntegra Vita | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2007 | + | средства госконтракта по мероприятию 2.5 ФЦП ИиР 2002-2006 |
4 | Электронный микроскоп с системой электронной литографии | Микроскопы электронные отражательные | Nova NanoLab600 | FEI Co | Нидерланды | 2007 | + | Гранты Правительства Российской Федерации |
5 | Специализированный исследовательский комплекс на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями | Микроскопы электронные сканирующие с приставкой EDХ-анализа | Phenom | FEI Co | Нидерланды | 2010 | + | национальный проект "Образование" |
Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9, растровый электронно-ионный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600, сканирующая зондовая нанолаборатория Ntegra Vita, Атомно-силовой туннельный микроскоп "Solver P47", комплекс туннельных микроскопов "NanoEducator".
1. Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями - многофункциональное оборудование для PECVD углеродных нанотрубок, МЛЭ, ИЛО.
2. Сканирующий тунельный микроскоп.
3. Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами - исследование образцов методом сканирующей зондовой микроскопии.
4. Электронный микроскоп с системой электронной литографии - предназначен для нанесения резистов методом центрифугирования.
5. Специализированный исследовательский комплекс на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями.
Комплекс оборудования для формирования структур микро- и наномеханики, структурных исследований и контрольно-измерительное оборудование различного назначения (технологическая гермозона общей площадью 400 кв.м.), включающий установки плазмохимического осаждения и травления установки, электронно-лучевого и магнетронного напыления, установки импульсного фотонного и термического отжига, участок фотолитографии и др.
Локальная вычислительная сеть (100 Мбит/с) с выходом в Интернет, имеющая в составе рабочие станции, сервера и персональные компьютеры, лицензионное программное обеспечение для проектирования и моделирования СБИС, микро- и наносистем.