| No п/п | Наименование работы (услуги | Раздел классификатора работы (услуг | Используемое научное оборудование | Используемая методика | Продолжит ельность разового выполнени я работы (оказания услуги), час. | Себестоимос ть (затраты) разового выполнения работы (оказания услуги), руб. |
| 1 | Разработка технологии и предоставление технологической базы для изготовления микро- и наноразмерных устройств и систем | Микро- и нанорельеф, Полупроводники, Нанообъекты, Топология микросхем, Другие, Иные методы измерения | Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями, Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600 | 148 | 290229.28 | |
| 2 | Исследование и контроль параметров микро- и наноразмерных систем | Микро- и нанорельеф, Полупроводники, Иные предметы исследования, Иные типы измерения | Комплекс туннельных микроскопов, Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами, Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями, Сканирующий туннельный микроскоп, Специализированный исследовательский комплекс Phenom на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями, Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600 | Методика выполнения измерений геометрических параметров массивов оксидных наноразмерных структур методом атомно-силовой микроскопии, Методика измерения удельного сопротивления гомогенных полупроводниковых материалов методом атомно-силовой микроскопии, Методика измерения механических параметров вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом наноиндентирования, Методика измерения высоты массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии | 57.01 | 51012.99 |
| 3 | Проведение курсов обучения (переподготовки/повышения квалификации) специалистов на технологическом и исследовательском оборудовании | Микро- и нанорельеф, Полупроводники, Нанообъекты, Топология микросхем, Иные методы исследования, Иные типы измерения, Проведение учебных занятий студентов, прохождение практик, стажировка специалистов | Комплекс туннельных микроскопов, Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600 | 72 | 52727.2 | |
| 4 | Образовательные программы для студентов | Микро- и нанорельеф, Полупроводники, Нанообъекты, Топология микросхем, Иные методы исследования, Иные типы измерения, Сопровождение научным оборудованием научно-исследовател ьских работ докторов, кандидатов, аспирантов, магистров, студентов | Комплекс туннельных микроскопов, Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами, Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями, Сканирующий туннельный микроскоп, Специализированный исследовательский комплекс Phenom на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями, Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600 | Методика выполнения измерений геометрических параметров массивов оксидных наноразмерных структур методом атомно-силовой микроскопии, Методика измерения удельного сопротивления гомогенных полупроводниковых материалов методом атомно-силовой микроскопии, Методика измерения механических параметров вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом наноиндентирования, Методика измерения высоты массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии | 80.01 | 62577.6 |