Размер шрифта

A
A

Межстрочный интервал

A
A

Цвет

A
A

Гусев Евгений Юрьевич

+7(863)-437-17-67

Степень: Кандидат технических наук

Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения - Старший научный сотрудник

Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники - Доцент

Дивизион (отдел) "Электроника" - Ведущий научный сотрудник

347922, Таганрог, ул. Шевченко, 2, лаб. Е-113, лаб. ЕГ-109, ЕВ-403а

E-mail:
Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript
Персональная страница:
https://sfedu.ru/person/eyugusev
Персональная страница на английском:
https://sfedu.ru/en/person/eyugusev

Образование и повышение квалификации:

  • высшее образование: Таганрогский государственный радиотехнический университет (01.09.2000 - 30.06.2004)
    Электроника и микроэлектроника
    бакалавр техники и технологии в электротехнике
  • высшее образование: Таганрогский государственный радиотехнический университет (01.09.2000 - 30.06.2005)
    Микроэлектроника и твердотельная электроника
    инженер
  • высшее образование: Таганрогский государственный радиотехнический университет (01.09.2004 - 30.06.2006)
    Электроника и микроэлектроника
    магистр техники и технологии
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВПО "Южный федеральный университет" в г. Таганроге (01.03.2010 - 31.05.2010)
    Инновационные аспекты непрерывного профессионального образования
  • повышение квалификации: ГОУДПО "Государственный институт новых форм обучения" (ГИНФО), г. Москва (www.nano-obr.ru) (01.04.2011 - 14.04.2011)
    Проектирование интегральных микросхем с проектными нормами 90-65 нм
  • повышение квалификации: Факультет электроники и приборостроения ЮФУ (01.11.2013 - 30.11.2013)
    Дистанционное обучение в сфере нанотехнологий на основе интерактивного комплекса удаленного доступа к многофункциональному оборудованию
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Южный федеральный университет" (28.11.2016 - 14.01.2017)
    Применение Matlab и Simulink в научных исследованиях и образовательном процессе
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Южный федеральный университет" (27.11.2017 - 14.12.2017)
    Технологии онлайн-обучения в деятельности преподавателя
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Южный федеральный университет" (16.06.2018 - 25.06.2018)
    Информационные технологии в профессиональной деятельности
    Удостоверение 612407480427
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Южный федеральный университет" (18.06.2018 - 30.06.2018)
    Оказание первой доврачебной помощи
    Удостоверение 612407480158
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (10.03.2020 - 03.04.2020)
    Тепловые микроэлектромеханические сенсоры
    Удостоверение 772410637909
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (10.03.2020 - 03.04.2020)
    Сенсоры для биомедицинских систем
    Удостоверение 772410637889
  • повышение квалификации: Учебный портал АНО "еНано" (14.04.2020 - 08.06.2020)
    Измерение параметров и модификация свойств наноматериалов и наноструктур
    Сертификат СТ-2006-9445
  • повышение квалификации: ФГАОУ ВО "Южный федеральный университет" (01.04.2021 - 14.04.2021)
    Проектирование приборов и систем интегральной наноэлектроники
    Удостоверение 612409220145
  • повышение квалификации: Некоммерческое образовательное учреждение дополнительного профессионального образования "Центр оценки и развития квалификаций НИИМЭ" (НОУ ДПО "ЦОРК НИИМЭ") (21.12.2022 - 29.12.2022)
    Производство изделий наноэлектроники на основе применения новейших материалов и высокотехнологичного оборудования
    Удостоверение 772416778943
  • повышение квалификации: Некоммерческое образовательное учреждение дополнительного профессионального образования "Центр оценки и развития квалификаций НИИМЭ" (НОУ ДПО "ЦОРК НИИМЭ") (13.11.2023 - 17.11.2023)
    Разработка процессов фотолитографии при производстве наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
    Удостоверение 772418900228
  • повышение квалификации: Некоммерческое образовательное учреждение дополнительного профессионального образования "Центр оценки и развития квалификаций НИИМЭ" (НОУ ДПО "ЦОРК НИИМЭ") (27.11.2023 - 01.12.2023)
    Процессы жидкостной химической обработки кремниевых пластин в технологии производства ИС с субмикронными проектными нормами на пластинах диаметром 200 мм
    Удостоверение 772416368953
  • повышение квалификации: ООО "Институт современных технологий управления (04.12.2023 - 15.12.2023)
    Управление ER&D
    Удостоверение 663102342030

Дата начала общего стажа: 10.10.2005

Стаж по специальности (в годах): 17

Преподаваемые дисциплины:

  • Технология микро- и наносистем
    бакалавриат, 7,8 семестр. Основные разделы: чистые помещения, среды, материалы; технологические операции и этапы; технология поверхностной и объемной микрообработки; высокоаспектные технологии (LIGA, HEXSIL, HARPSS...); технологическое и контрольно-измерительное оборудование; технологическая документация (маршрутные и операционные карты, лабораторно-технологические инструкции и регламент и др.)
  • Специальные разделы нанотехнологии. Микроэлектромеханические системы
    магистратура, 2-4 семестры. Основные разделы: современные тенденции развития технологии микроэлектромеханических систем (микро- и нанообработки); балочные и мембранные структуры; имплантируемые зонды; инвазивные нейроинтерфейсы; неинвазивные нейроинтерфейсы; наночастицы для неинвазивных нейроинтерфейсов.
  • Технология микроэлектромеханических систем
    Магистратура, 1 семестр. Основные разделы: Введение в технологию микроэлектромеханических систем. Параллели с технологией микроэлектроники. Неинтегральные технологические процессы. Интегральные технологические процессы. Экономическая сторона разработки интегральных и неинтегральных технологических процессов.
  • Микро- и наносистемы
    бакалавриат, 7,8 семестр. Основные разделы: чувствительные элементы микро- и наносистем; пьезоэлектрические преобразователи; сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений; микромеханические компоненты коммутационных устройств; микродвигатели; микроиндукторы; микроконденсаторы и др.
  • Микро- и нанотехнологии
    магистратура, 2-4 семестр (один из семестров). Основные разделы: введение в технологию микроэлектромеханических систем, параллели с технологией микроэлектроники; проблемы интеграции, идеология и стратегия разработки интегрального процесса; вопросы технологичного проектирования; Технологические процессы изготовления МЭМС; неинтегральные промышленные технологические процессы; Интегральные промышленные технологические процессы; оценка стоимости разработки технологических процессов изготовления МЭМС.

Дополнительная информация:

В 2006 году окончил Таганрогский государственный радиотехнический университет (ТРТУ) с отличием по специальности специальности "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (2005), с присвоением квалификации магистр техники и технологии по направлению "Электроника и микроэлектроника, магистр техники и технологии" (2006).

В 2008 году работал ведущим инженером в ООО "Завод Кристалл", занимался ростом лент сапифра по методу Степанова.

В 2009 году получил ученую степень кандидата технических наук в области микроэлектроники по специальности "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах" Тема диссертации: "Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур".

В 2010 году - ассистент кафедры Технологии микро- и наноэлектронная апаратуры (ТМиНА).

С 2010 по 2019 г.г. - доцент кафедры Нанотехнологий и микросистемной техники.

С 2011 года по настоящее время - и.о. заведующего лабораторией плазменных нанотехнологий НОЦ "Нанотехнологии" ЮФУ.

С 2019 г. по настоящее время - доцент института нанотехнологий, электроники и приборостроения.

Руководитель образовательной программы подготовки бакалавров (2019-2023, по направлению 28.03.02 "Наноинженерия").

С 2022 - Визит-профессор Лазерного института Технологического университета Цилу Шаньдунской Академии Наук (Китай).

Сфера научных интересов: технологические процессы микро- и наноэлектроники, технологии микросистемной техники, плазменные процессы, электронно-лучевая обработка.

Научные достижения.

Имеет более 150 научных публикаций. Руководитель 3 НИР (2014, 2015, 2023-24 г.), ответственный исполнитель ПНИ в рамках ФЦП "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы" (2014-2016 г.), ответственный исполнитель внутреннего гранта ЮФУ (2017-2019), исполнитель гранта РФФИ (2018-2021) и др.

Награды.

Диплом и медаль Министерства образования (2006, 2007).

Читаемые курсы.

Технология микро- и наносистем

Специальные разделы нанотехнологии. Микроэлектромеханические системы

Технология микроэлектромеханических систем

Микро- и наносистемы

Микро- и нанотехнологии

Процессы микро- и нанотехнологий

Micro and Nanofabrication Technologies (Микро- и нанотехнологии)

Micro and Nanosystems (Микро- и наносистемы)

Наукометрические показатели.

Scopus Author ID: 57023285600

Web of Science Researcher ID: http://www.researcherid.com/rid/E-6424-2014

ORCID: https://orcid.org/0000-0001-8635-2573

SPIN-код (elibrary.ru): 5050-5874