Предложенный проект посвящен проведению научных исследований, направленных на получение новых знаний в области разработки технологических процессов изготовления зондов с улучшенными эксплуатационными параметрами для решения широкого круга задач нанодиагностики. Автором проекта впервые предложено применение метода локального ионно-стимулированного осаждения материалов под действием фокусированного ионного пучка галлия для формирования структур нанодиагностики. В работе будут разработаны конструкции и технологии формирования острия зондов для высокоразрешающей атомно-силовой микроскопии, зондовой спектроскопии, зондовой нанолитографии (в том числе с использованием многозондовых кантилеверов), а также апертурных зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии.

Актуальность заявленного направления исследований обусловлена широким распространением оборудования СЗМ, наличием в России производителей оборудования, высокой потребностью в зондах для выполнения высокоточных исследований.

Научная значимость задач проекта заключается в теоретическом и экспериментальном изучении процессов локального формирования наноразмерных структур методом ионно-стимулированного осаждения из газовой фазы, разработке методик управляемого формирования наноструктур сложной формы, разработке конструктивных решений и технологических процессов формирования острия зондов для актуальных и перспективных методик нанодиагностики с использованием СЗМ.

Решение поставленных в проекте научных и технологических задач позволит создать основу для создания в России мелкосерийного производства зондов для специализированных задач зондовой нанодиагностики.