Сведения о ходе выполнения прикладных научных исследований по теме: "Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем".В ходе выполнения проекта по соглашению о предоставлении субсидии от 30 июня 2014 г. N 14.575.21.0045 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» на этапе N 1 в период с 30.06.2014 г. по 30.12.2014 г. выполнены следующие работы:
– проведены патентные исследования;
– обосновано и выбрано направление исследований многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров;
– разработан перечень технологических операций и обоснование необходимого технологического оборудования для изготовления многоосевых интегральных сенсоров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки;
– разработаны математические модели многоосевых интегральных сенсоров;
– разработана методика моделирования многоосевых интегральных сенсоров;
– разработана методика изготовления экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов.
Новизна полученных результатов заключается в решении проблемы повышения функциональных возможностей микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров посредством использования принципа функциональной интеграции. Данный подход обеспечивает повышение функциональных возможностей микро- и наномеханических сенсоров и по результатам теоретических исследований позволит регистрировать угловые скорости и линейные ускорения по нескольким осям чувствительности.
Полученные результаты:
– полностью соответствуют требованиям технического задания;
– соответствуют мировому уровню, а по некоторым пунктам превосходят его.
Уникальный идентификатор – RFMEFIBBB14X0217