Размер шрифта

A
A

Межстрочный интервал

A
A

Цвет

A
A

Авдеев Сергей Петрович

Авдеев Сергей Петрович

Звание: Доцент

Степень: Кандидат технических наук

Дивизион (отдел) «Электроника» - Доцент

E-mail:
Посмотреть почту
Персональная страница:
https://sfedu.ru/s7/person/ru/savdeev
Персональная страница на английском:
https://sfedu.ru/s7/person/en/savdeev

Область научных интересов ; вакуумная техника и вакуумные технологические процессы (осаждение материалов, получение тонких и толстых плёнок различных материалов, модификация поверхности); взаимодействие электронного пучка с рельефными и гладкими поверхностями полупроводников и диэлектриков; применение электронного луча в производстве оптических, электронных, микроэлектронных и других видов приборов; синтез стеклообразных пленок золь-гель методом; технология полупроводниковых материалов. Проектирование и конструирование вакуумного оборудования для электронно-лучевой обработки поверхности материалов и элементов приборов. Разработка технологических процессов электронно-лучевой обработки элементов прибора с целью получения определенных характеристик данного прибора.