В качестве сенсорного элемента используется тонкая проводящая пленка, нанесенная на контролируемую поверхность и имеющая контакты по периметру.

В статье «Analytical Approach in the Development of RF MEMS Switches» заведующий кафедрой конструирования электронных средств института нанотехнологий, электроники и приборостроения Лысенко Игорь, аспирант ЮФУ Ткаченко Алексей и магистрант кафедры конструирования электронных средств Никитин Александр в сотрудничестве с Шеровой Еленой (АО «Таганрогский научно-исследовательский институт связи») предложили конструкцию микроэлектромеханического переключателя сигналов с емкостным соединением и низковольтным режимом работы. Также был разработан маршрут изготовления, предлагаемого микроэлектромеханического переключателя, совместимый с технологией изготовления интегральных КМОП-микросхем.

E.A. Ryndin, B.G. Konoplev and I.V. Kulikova. Distributed Sensory System of Surface Cracks Monitoring Based on Electrical Impedance Tomography (2018) Electronics (Switzerlad), 7, doi:10.3390/electronics7080131.

I.E. Lysenko, A.V. Tkachenko, E.V. Sherova and A.V. Nikitin. Analytical Approach in the Development of RF MEMS Switches (2018) Electronics (Switzerlad), 7, doi:10.3390/electronics7120415.

Ссылка на сайт журнала: https://www.mdpi.com/journal/electronics