На этапе N 4 в период с 01.01.2016г. по 30.06.2016г. выполнены следующие работы и получены результаты:

– изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов;

– изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических акселерометров;

– изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых наномеханических акселерометров;

– разработаны программа и методики испытаний экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов;

– разработаны программа и методики испытаний экспериментальных образцов многоосевых микромеханических акселерометров;

– разработаны программа и методики испытаний экспериментальных образцов многоосевых наномеханических акселерометров;

– разработаны программа и методики испытаний макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов;

– разработаны программа и методики испытаний макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических акселерометров;

– разработаны программа и методики испытаний макетов устройств обработки сигналов многоосевых наномеханических акселерометров;

– приобретено технологическое и контрольно-измерительное оборудование, материалы и комплектующие, необходимые для испытаний экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с учетом разработанных программ и методик испытаний.

Новизна полученных результатов заключается в решении проблемы повышения функциональных возможностей микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров посредством использования принципа функциональной интеграции. Данный подход обеспечивает повышение функциональных возможностей микро- и наномеханических сенсоров и по результатам теоретических исследований позволит регистрировать угловые скорости и линейные ускорения по нескольким осям чувствительности.

Полученные результаты:

– полностью соответствуют требованиям технического задания;

– соответствуют мировому уровню, а по некоторым пунктам превосходят его.

Уникальный идентификатор – RFMEFI57514X0045