Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9, растровый электронно-ионный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600, сканирующая зондовая нанолаборатория Ntegra Vita, Атомно-силовой туннельный микроскоп "Solver P47", комплекс туннельных микроскопов "NanoEducator".
| N° пп | Наименование оборудования | Марка | Фирма- изготовитель | Страна | Год выпуска | |
1. | Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями | НАНОФАБ НТК-9 | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2008 |
|
2. | Сканирующий тунельный микроскоп | Solver P47Pro | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2003 |
|
3. | Комплект оборудования для медико-биологических исследований зондовыми методами | Ntegra Vita | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2007 |
|
4. | Комплекс туннельных микроскопов | NanoEducator | ЗАО НТМДТ, г. Москва | Россия | 2004 |
|
5. | Электронный микроскоп с системой электронной литографии | Nova NanoLab600 | FEI Co | Нидерланды | 2007 |
|
6. | Специализированный исследовательский комплекс на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями | Phenom | FEI Co | Нидерланды | 2010 |
|
Комплекс оборудования для формирования структур микро- и наномеханики, структурных исследований и контрольно-измерительное оборудование различного назначения (технологическая гермозона общей площадью 400 кв.м.), включающий установки плазмохимического осаждения и травления установки, электронно-лучевого и магнетронного напыления, установки импульсного фотонного и термического отжига, участок фотолитографии и др.
Локальная вычислительная сеть (100 Мбит/с) с выходом в Интернет, имеющая в составе рабочие станции, сервера и персональные компьютеры, лицензионное программное обеспечение для проектирования и моделирования СБИС, микро- и наносистем.