Размер шрифта

A
A

Межстрочный интервал

A
A

Цвет

A
A

Учёные БФУ им.И.Канта успешно провели исследования в ESRF (Франция)

06.04.2016

Коллектив Лаборатории рентгеновской оптики БФУ им.И.Канта провёл успешные научные исследования в Европейском центре синхротронного излучения (ESRF, Франция). Исследования проводились в рамках реализации проекта "Разработка принципиально новой технологии управления параметрами рентгеновского излучения с наноразмерным разрешением с использованием наноструктурированных материалов элементов II периода" (мегагрант Правительства РФ).

Учёные БФУ им.И.Канта под руководством ведущего учёного Анатолия Снигирёва предложили инновационный способ увеличения возможностей рентгеновской дифрактометрии за счёт использования преломляющей рентгеновской оптики. Были проведены успешные эксперименты по высокоразрешающей рентгеновской дифракции с использованием преломляющих рентгеновских линз в качестве оптики, формирующей Фурье-изображение объекта (Фурье-оптики). 

Анатолий Снигирёв, руковолитель лаборатории рентгеновской оптики БФУ им.И.Канта:

"В связи с увеличивающимся интересом к кристаллическим нано- и микроструктурам, в результате создание трёхмерных полупроводниковых структур малого размера необходимы точные методы исследования и анализа этих структур. Одним из наиболее лучших инструментов исследования таких структур на сегодняшний день является рентгеновская дифрактометрия. Применение Фурье-оптики в области жёсткого рентгеновского излучения является одним из перспективных направлений и сильным исследовательским инструментом исследования с высоким угловым разрешением". 

Для всестороннего исследования возможностей метода специалистами лаборатории рентгеновской оптики БФУ им. И. Канта были дифракционные образцы нескольких типов. Размер каждой периодической кристаллической микроструктуры составлял всего 200 х 200 микрометров, что сравнимо с толщиной листа бумаги и был выполнен на пластине монокристаллического кремния. Для изготовления представленных образцов была использована технология ионной литографии на базе современного оборудования, двулучевой системы Zeiss Crossbeam 540, установленной в лаборатории.

Кроме того, в работе были использованы двумерные периодические кремне-германиевые (Si–Ge) структуры: на кремниевой подложке расположены германиевые нанокристаллы, выращенные на решётке из кремниевых пилларов (столбиков). Пиллары (шириной 90 нм и длиной 150 нм) получены по технологии BiCMOS. 

В результате проведенных исследований были продемонстрированы возможности оценки исследуемых структур при помощи высокоразрешающих методов Фурье-оптики с использованием когерентного источника синхротронного излучения в жёсткой области рентгеновского спектра. Были получены так называемые Фурье-изображения дифракционных картин от изучаемых структур. 

Анатолий Снигирёв, руководитель лаборатории рентгеновской области БФУ им.И.Канта: 

"Данные изображения после соответствующей обработки позволяют исследователям судить о геометрии исследуемых микроструктур, а также о напряжениях и дефектах распределения их кристаллических решёток. Главная значимость проведённой работы заключается в создании и развитии нового поколения методик исследования нано- и микроструктур с применением преломляющих рентгеновских линз в различных внешних условиях. Такие методы будут иметь высокое пространственное разрешение, будут удобны для проведения сложных многокомпонентных экспериментов и предоставят возможность наблюдения динамических процессов в исследуемых структурах, что, безусловно, позволит получать уникальные научные данные. Применение разработки открывает новые возможности для проведения научных исследований и экспериментов, а также для расширения прикладных направлений использования рентгеновского излучения с максимально эффективным использованием возможностей современных источников рентгеновского излучения, таких как когерентность и высокая плотность потока".